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製品ラインナップ

PLANERLITE

高純度、高加工能率、高分散、スクラッチフリーをコンセプトとしてCMP用ポリシング材「PLANERLITE」を開発しました。

多層配線されたウェハーを効率良く研磨することができる高レベルな表面加工に対応します。

製品名 スペック・内容
PLANERLITE 4000シリーズ 酸化膜用スラリー
PLANERLITE 5000シリーズ W用スラリー
PLANERLITE 6000シリーズ Poly-Si用CMPスラリー
PLANERLITE 6500シリーズ Poly-Si膜のパーティクル除去用リンススラリー
PLANERLITE 7000シリーズ Cu用スラリー
PLANERLITE 8000シリーズ Cu/Ta及びその他バリア膜研磨用スラリー

その他製品

フジミではさまざまなニーズにお応えするスラリーの提供・開発を承っております。ぜひ、お問い合わせください。

目的 製品名・提供内容
HKMG(High-k/Metal gate)
高誘電率膜/金属ゲート用

左記のような最先端のデバイス技術についても、お客様の要望に応じて最適なスラリーをタイムリーに開発・提案しております。

詳細はお問い合わせください。

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